Стандарты по высокоточному оцениванию параметров объектов нужны дистанционных исследованиях при анализе космических изображений и в литографическом оборудовании для производства памяти и процессоров. Для этого в Математическом Обеспечении Измерительно Вычислительных Систем (МО ИВС) предлагаем использовать высокоточные методы Градиентной Морфологии (ГМ).
Пока мы можем утверждать, что методами (ГМ) такие параметры как положение и размеры, например, Интегрального Транзистора мы можем оценить в 5-10 раз более точно, чем методами обычной морфологии. В настоящее время в конструировании оптических ИВС современных литографов имеет место простая тенденция: “Чем меньше длины волны излучения, тем более мелкие объекты мы видим, измеряем”. В подходах этой тенденции не учитывается тот факт, что излучение имеет волновую природу и надо математически компенсировать (термины:) Диаграмму Направленности (ДН), Функцию Рассеяния Точки (ФРТ) или Аппаратную Функцию (АФ) ИВС. Замети, что литографы с Рентгеновским ИВС уже существуют за рубежом. В России работы по рентгеновскому литографу продолжаются в Нижнем Новгороде. Рентгеновские ИВС очень дорогие и сейчас тенденция направлена даже на использование синхротронного излучения в литографии. На физическом факультете МГУ создан метод по компенсации АФ искажений ИВС, который мы назвали Математический Микроскоп (ММ). Метод ММ апробирован на данных в Астрономии и на данных с Электронных и Атомно-Силовых микроскопов. Величины получаемых сверх разрешений SR в зависимости от точности исходных данных для ММ находятся в пределах от 30-50 до 200-2000.
Выводы: метод ММ пока не применялся для получения SR изображений в дистанционных исследованиях с ИВС в литографии. Будущие за новыми ИВС в 0.2-1нм Литографии с методами ГМ и ММ.

Ключевые слова: Фурье гармоники, ортонормированный базис, конечномерная теорема отсчетов, дифференцирование и интегрирование массивов отсчетов с точностью мантиссы, градиентная морфология, шаблон векторов единичной длины

Литература:

Терентьев Е.Н. https://orcid.org/0000-0003-1024-2575
Terentiev, E. N., Shugaev, F. V., Shtemenko, L. S., Dokukina, O.I. and Ignateva, O. A., “Modeling of laser beam propagation through the whirlwind”, Proc. SPIE 6215, 86-97(2006).
Shugaev, F. V., Terentiev, E. N., Shtemenko, L. S., Nikolaeva, O. A., Pavlova, T. A. and Dokukina, O. I., “On the problem of beam focusing in the turbulent atmosphere”, Proc. SPIE 6747, (2007).
E. N. Terentiev,I. N. Prikhodko and I. I. Farshakova // Problems of accurate localization objects in imagers, AIP Conference Proceedings 2171, 110009(2019); https://doi.org/10.1063/1.5133243
Terentiev, E.N., Prikhodko, I.N., Farshakova, I.I. Applications of finite dimensional sampling theories, AIP Conference Proceedings 2195, 020019 (2019); https://doi.org/10.1063/1.5140119

Презентация доклада

Двадцать вторая международная конференция "СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ ДИСТАНЦИОННОГО ЗОНДИРОВАНИЯ ЗЕМЛИ ИЗ КОСМОСА"

XXII.A.81

Стандарты оценивания параметров объектов в изображениях с ИВС

Методы и алгоритмы обработки спутниковых данных