Математической моделирование в условиях конечно-мерной теоремы отсчетов

Стандарты по высокоточному оцениванию параметров объектов нужны дистанционных исследованиях при анализе космических изображений и в литографическом оборудовании для производства памяти и процессоров. Для этого в Мат. Обеспечении Измерительно Вычислительных Систем (МО ИВС) предлагаем использовать методы Градиентной Морфологии (ГМ) и методы Микроскопа с Искусственным Интеллектом Физик (МAIP).
Для специализированных ИВС в литографическом оборудовании для производства процессоров и памяти должны быть стандарты по, например, точности оценивания параметров объектов в изображениях. Пока мы можем утверждать, что методами Градиентной Морфологии (ГМ) такие параметры как положение и размеры, например, Интегрального Транзистора мы можем оценить в 5-10 раз более точно, чем методами обычной морфологии. В настоящее время в конструировании оптических ИВС современных литографов имеет место простая тенденция: “Чем меньше длины волны излучения, тем более мелкие объекты мы видим, измеряем”. В подходах этой тенденции не учитывается тот факт, что излучение имеет волновую природу и надо математически компенсировать (термины): Диаграмму Направленности (AP), Функцию Рассеяния Точки (PSF) или Аппаратную Функцию (АF) ИВС. Замети, что литографы с Рентгеновским ИВС уже существуют за рубежом. В России работы по рентгеновскому литографу продолжаются в Нижнем Новгороде. Рентгеновские ИВС очень дорогие и сейчас тенденция направлена даже на использование синхротронного излучения в литографии. На физическом факультете МГУ создан метод по компенсации АF искажений ИВС, который мы назвали Микроскоп c Искусственным Интеллектом Физик (MAIP). Метод MAIP апробирован на данных в Астрономии и на данных с Электронных и Атомно-Силовых микроскопов. Величины получаемых сверх разрешений SR в зависимости от точности исходных данных для MAIP находятся в пределах от 30-50 до 200-2000.